気流センサ｜40000シリーズ
補償型または非補償型 ±25.0SCCM、1.0SLPM、6.0SLPM アナログ出力
気流センサ「40000シリーズ」は、熱伝導原理を利用して動作します。 出力電圧は、パッケージの吸気および排気ポートを通過する空気の質量あるいは他のガスの流量に比例して変化します。独自設計のハウジングが、微細構造の検出素子を通してエアフローの流れを正確に制御します。パッケージの機械的設計により、プリント回路基板に容易に取り付けることができます。 高度な微細構造テクノロジを基にした独自のシリコンチップを備えています。薄膜、ヒータと温度検出素子を含む、熱絶縁されたブリッジ構造で構成されています。ブリッジ構造により、チップ上を流れる空気または他のガスを、高感度かつ迅速に検知できます。中央加熱素子の両側に位置する二重の検出素子は、流れの方向および流量を示します。レーザートリムされた厚膜および薄膜抵抗器により、デバイス間の一貫した互換性が確保されます。 Microbridgeマスエアフローセンサの小型化および熱的分離により、フローへの非常に高速な応答および高い感度が可能になります。
- 企業：日本ハネウェル株式会社 本社
- 価格：応相談
